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    精密位移平臺在精密測厚時需注意哪些事項

    2021-04-10 13:40:31

    精密位移平臺

    精密位移平臺和其它傳感器測厚一樣,要實現精密測厚需要注意以下條件,否則再好的傳感器也測不準:

      1、精密位移平臺用單激光位移傳感器

      被測體放在測量平臺上,測量出傳感器到平臺表面距離,然后再測出傳感器到被測體表面間距,經計算后測出厚度。要求被測體與測量平臺之間無氣隙,被測體無翹起。這些嚴格要求只有在離線情況實現。

      2、 精密位移平臺雙激光傳感器測厚

      在被測體上方和下方各安裝一個激光位移傳感器,被測體厚度D=C-(A+B)。其中,C是兩個傳感器之間距離,A是上面傳感器到被測體之間距離,B是下面傳感器到被測體之間距離。圖中:SMR是指傳感器量程起始間距,MR是指傳感器量程。

      在線厚度測量用這種方法優點是可消除被測體振動對測量結果的影響。但同時對傳感器安裝和性能有要求。

      精密位移平臺保證測量準確性的條件是:兩個傳感器發射光束必須同軸,以及兩個傳感器掃描必須同步(見本文附圖)。同軸是靠安裝實現,而同步要靠選擇有同步端激光傳感器 。


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